Płytki z węglem krzemowym płytki SiC płytki płytki do etasu ICP MOCVD Susceptor Odporny na zużycie
Szczegóły Produktu:
Nazwa handlowa: | ZMSH |
Numer modelu: | Targowiec do płytek SiC |
Zapłata:
Minimalne zamówienie: | 5 |
---|---|
Czas dostawy: | 2-4 tygodnie |
Zasady płatności: | T/T |
Możliwość Supply: | 5 |
Szczegóły informacji |
|||
Miejsce pochodzenia: | Chiny ZMSH | Skład chemiczny: | Grafit powlekany SiC |
---|---|---|---|
Wytrzymałość na zginanie: | 470 MPa | Przewodność cieplna:: | 300 W/mK |
Funkcja: | CVD-SiC | gęstość: | 3,21 g/cm3 |
Rozszerzalność termiczna: | 4 10-6/K | Popiół: | <5 ppm |
Kod HS: | 6903100000 | Przewodność cieplna:: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
High Light: | ICP etsujące tacy z węglem krzemowym,Płytki z węglem krzemowym MOCVD Susceptor,Odporne na zużycie tacki z węglanu krzemowego |
opis produktu
Płytki z węglem krzemowym płytki SiC płytki płytki do etasu ICP MOCVD Susceptor Odporny na zużycie
Opis
Taśmy z grafitu powlekanych SIC są wykonane z matryc grafitowych o wysokiej czystości, otrzymując powłokę SiC poprzez CVD (deponowanie par chemicznych) o wyjątkowo wysokiej czystości i teoretycznej gęstości.Ta powłoka CVD SiC jest wyjątkowo twarda., dzięki czemu można je polerować do lustrzanego wykończenia, wykazując bardzo wysoką czystość i niezwykłą odporność na zużycie.co sprawia, że są idealne dla przemysłu półprzewodnikowego i innych ultra-czyste ustawieniaWykorzystywane głównie jako podłoże do tworzenia warstwy epitaksyalnej na płytkach półprzewodnikowych, oferują kilka zalet, takich jak powierzchnie o bardzo wysokiej czystości i wyższa odporność na zużycie.Z CVD zapewniającym powłoki SiC o minimalnych porach i polerowalności węglanu krzemowego, produkty te znajdują szerokie zastosowanie w przemyśle półprzewodnikowym, w tym w tablicach MOCVD, komorach RTP i komorach do grafowania tlenku,z powodu doskonałej odporności azotanu krzemu na wstrząsy cieplne i wytrzymałości plazmy.
Wystawa produktów
Właściwości produktu
- Ultra wysoka czystość
- Doskonała odporność na wstrząsy cieplne
- Doskonała odporność na uderzenia fizyczne
- Możliwość obróbki skomplikowanych kształtów
- Doskonała stabilność chemiczna
- Może być stosowany w oksydującej atmosferze.
Pozycja | Jednostka | Parametry techniczne | |
---|---|---|---|
Materiały kolejowe | - Tak. | SSiC | SiSiC |
Kolor | - Tak. | Czarne | Czarne |
Gęstość | g/cm3 | 3.12 | 3.06 |
Wchłanianie wody | % | 0 | 0 |
HRA | - Tak. | ≥ 92 | ≥ 90 |
Moduł elastyczności | Średnia | 400 | 350 |
Siła zgięcia (@R.T.) | MPa | 359 | 300 |
Siła kompresyjna (@R.T.) | MPa | ≥ 2200 | 2000 |
Przewodność cieplna (@R.T.) | W/Mk | 110 | 100 |
Współczynnik rozszerzenia cieplnego (20-1000°C) |
10-6/°C | 4.0 | 4.0 |
Maksymalna temperatura pracy | °C | 1500 | 1300 |
Zastosowanie produktu
ICP Etching:Taśmy z węglem krzemowym są kluczowymi komponentami w systemach etasowania ICP (Inductively Coupled Plasma), gdzie służą jako solidne platformy do przechowywania i przetwarzania płyt półprzewodnikowych.Odporność na zużycie tacy zapewniają długotrwałą niezawodność i spójność podczas procesu etsu, przyczyniając się do precyzyjnego przenoszenia wzoru i modyfikacji powierzchni na płytkach.
Podejrzany o MOCVD:W systemach MOCVD, taśmy z węglowodorem krzemowym działają jako podatniki, zapewniając stabilne wsparcie dla odkładania cienkich filmów na substraty półprzewodników.Możliwość utrzymania wysokiej czystości i wytrzymania podwyższonych temperatur sprawia, że taśmy są idealne do ułatwienia wzrostu warstw epitaksyalnych o wyższej jakości i jednolitości.
Odporność na zużycie:Wyposażone w powłokę SiC, te tacki wykazują wyjątkową odporność na zużycie, zapewniając wydłużoną żywotność nawet w wymagających warunkach eksploatacji.Ich odporność na ścieranie i degradację chemiczną zwiększa wydajność i minimalizuje czas przerwy, co czyni je niezbędnymi w środowiskach produkcji półprzewodników o wysokiej przepustowości.
Położona SIC tablica grafitowa służy jako podstawa do mocowania i ogrzewania płyt półprzewodnikowych podczas obróbki cieplnej.i jego odporność na wstrząsy cieplne, przewodność cieplna i czystość są niezbędne do szybkiego przetwarzania termicznego (RTP).a wydajność i jakość podstawy mają decydujący wpływ na jakość warstwy epitaksjalnej płytki.
Pytania i odpowiedzi
Co to jest grafit?
Wyroby z materiałów grafitowychchronić spiekarkę przed wpływami zewnętrznymi, takimi jak bezpośrednie promieniowanie cieplne z elementów grzewczychWykorzystuje się je do samodzielnego ogrzewania i jednolitej emisji ciepła do części roboczych, aby uniknąć lokalnego przegrzania (tzw. gorących punktów).
Co to jest powłoka SiC?
Co to jest powłoka z węglanu krzemowego?o pojemności nieprzekraczającej 10 W,Ma wysoką odporność na korozję i ciepło, a także doskonałą przewodność cieplną.Wnioski.
Co to jest grafit z węglanu krzemowego?
SiC30 - Materiał złożony z węglanu krzemu i grafitu
SiC30 jestniepowtarzalny materiał kompozytowy składający się z węglanu krzemu i grafitu, którego połączenie właściwości rozwiązuje problemy, których nie można rozwiązać innymi materiałami.Produkt
Zalecenie produktu
1SIC Silicon Carbide Wafer 4H - N Type For MOS Device 2inch Dia50.6mm ((więcej proszę kliknąć na zdjęcie)
Zwróć uwagę.
Prosimy o kontakt z nami w celu uzyskania szczegółowych informacji dotyczących dostosowywalnych opcji produktów.
Kluczowe słowa:
- Tacy z węglem krzemowym
- powłoka SiC
- CVD (deponacja par chemicznych)
- Wysoka czystość
- Odporny na zużycie
- Przemysł półprzewodników
- Warstwa epitaksjalna
- MOCVD
- Odporność na uderzenia cieplne
- Opcje dostosowywalne